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半导体晶圆切割液/划片液/晶圆切割——亦盛科技

发布时间:2026-05-14                返回列表
前言:半导体晶圆切割液是集成电路封装测试工序中晶圆划片环节的关键辅材,亦盛科技采用行业的全合成配方体系,具有良好的冷却性、润滑性、粉末沉降性、抗菌防腐效果及清洁性;能有效的降低水表面张力,且增加导电率,避免硅粉吸附;减少崩边、翘曲、划伤等问题,显著提高产品良率;,不添加矿物油及有害溶剂,确保产品洁净度高、批次稳定,切割后无残留物,不影响芯片后续封装制程。
半导体晶圆切割液/划片液/晶圆切割——亦盛科技

一、半导体晶圆切割液是什么?

材料类型定位

半导体晶圆切割液(Wafer Cutting Fluid / Dicing Fluid)是集成电路封装测试工序中晶圆划片环节的关键辅材,属于半导体精密加工湿化学品范畴。在晶圆被切割成单个芯片的过程中,切割液承担冷却、润滑、排屑与清洁等多重功能,直接影响切割精度、刀片寿命及芯片成品良率。切割液通过去离子水稀释后,在高速旋转的金刚石砂轮刀片与晶圆接触界面之间形成润滑膜,降低切割摩擦阻力,快速带走切割产生的热量,同时将硅粉颗粒悬浮分散并冲洗干净,防止碎屑二次沉积划伤晶圆表面。

亦盛科技半导体晶圆切割液工作原理

通过在切割过程中产生上升气泡来降低微粒的沉降速度,同时加上亦盛切割液优良的防沉降性能,从而减少了微粒在晶圆表面的附着。

晶圆切割液特性

1、采用优质润滑脂及表面活性剂,具有良好的冷却性、润滑性、粉末沉降性及清洁性;

2、能有效的降低水表面张力,且增加导电率,避免硅粉吸附;

3、具有良好的抗菌防腐效果;

4、减少崩边、翘曲、划伤等问题,显著提高产品良率;

5、不含有毒害、刺激性原料,产品环保温和无刺激;

6、延长切割刀使用寿命,提高加工效率;

7、 产品环保可生物降解,无危险,废液容易处理。

8、产品批次质量及性能稳定。

与竞品/替代品的对比

对比维度纯水(去离子水)常规水基切割液亦盛科技晶圆切割液
冷却效率基础良好优异(含极压润滑配方)
润滑性能较好优异(摩擦系数≤0.06)
粉末分散能力弱(硅粉易沉降附着)较好强(Zeta电位调控)
刀片寿命影响磨损快延长10%一20%延长30%以上
综合成本中等稀释比高可达1:10000,单次成本降低明显


二、应用领域

应用场景一:逻辑与存储器集成电路晶圆切割


场景痛点与需求:

逻辑芯片(如CPU、GPU)和存储器芯片(如DRAM、NAND Flash)的晶圆上集成了亿级晶体管,切割道内布满精密的金属互连层。传统的常规晶圆切割液在切割这些先进制程晶圆时,容易因润滑不足导致崩边、微裂纹及金属线路损伤,严重时会影响芯片的电性表现和可靠性。

切割液的具体作用:
在刀轮切割过程中,晶圆切割液作为冷却润滑剂均匀覆盖于刀片与晶圆的切割界面,有效降低切割应力与高温热损伤,同时有效悬浮分散切割产生的硅屑粉末,防止其附着于芯片表面,保障晶圆表面的洁净度。


应用场景二:碳化硅(SiC)与氮化镓(GaN)等第三代半导体
场景痛点与需求:
碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)作为第三代宽禁带半导体材料,硬度高、脆性大,SiC的莫氏硬度高达9.5,仅次于金刚石,传统切割工艺中极易出现崩边、微裂纹甚至整片碎裂。同时,SiC和GaN晶圆价值高昂,切割良率直接影响整体制造成本。

切割液的具体作用:

为应对第三代半导体材料的特殊切割需求,高性能的水基晶圆切割液通过专属极压润滑配方,在切割界面形成高强度纳米级润滑膜,显著降低切割阻力和刀片磨损。同时切割液具备优异的分散稳定性,能够高效悬浮并带走高硬度的碳化硅粉末,避免二次划伤。


应用场景三:先进封装(扇出封装、WLCSP、CIS传感器、存储芯片Bumping)

场景痛点与需求:

在扇出型晶圆级封装(FOWLP)、CIS图像传感器封装、存储芯片凸点封装(Bumping)等先进封装工艺中,晶圆材料厚度薄(可薄至50μm以下)、面积大且集成多种异质材料,对切割工艺的应力控制和洁净度要求极高。

切割液的具体作用:

水基晶圆切割液能够快速润湿基材表面,有效冷却切割界面并降低切割应力。同时切割液体系具备低泡沫、易冲洗的特性,能有效消除硅粉颗粒堆积,阻止微生物生长,防止切割过程中对晶圆表面的二次污染。


应用场景四:MEMS与传感器件

场景痛点与需求:

微机电系统(MEMS)晶圆结构复杂、脆弱度高,切割工艺的机械应力容易破坏内部微结构。

切割液的具体作用:

切割液的低应力润滑和高效粉末分散能力,为MEMS晶圆提供温和而高效的切割环境,保障精密微结构的完整性。


三、亦盛科技晶圆切割液技术能力与品质保障

全合成精密配方技术:我们采用行业的全合成配方体系,不添加矿物油及有害溶剂,确保产品洁净度高、批次稳定,切割后无残留物,不影响芯片后续封装制程。
极压润滑与抗静电双重保障:通过专属润滑与分散稳定配方设计,降低摩擦系数,崩边尺寸控制,同时赋予切割碎屑高负电荷,有效防止颗粒团聚和静电吸附,保障晶圆表面洁净度。
质控体系:对每批次切割液进行pH值、粘度、表面张力、电导率及金属离子含量全检,确保产品性能长期稳定,可提供批次全程追溯与检测报告。
环保合规:产品不含卤素、重金属、亚硝酸盐、矿物油及动物油等禁用物质,可生物降解,废液处理符合环保要求。


四、产品资源与垂询通道

产品技术参数表(TDS)下载:含产品规格、理化指标及关键性能曲线

安全数据表(SDS)下载:含成分说明及安全操作指南

批次检测报告(COA) :按批次可追溯,支持在线下载

样品申请与技术支持:免费样品申请及专 业FAE现场调试指导

常见问题(FAQ) :涵盖稀释配比、包装规格、储存条件、稀释液更换周期等


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